System  Performance


















Facilities


BEAM CURRENT The following beam currents have been measured
         on SIMS units and an ion source test stand:
         
Gas Feed                Ion Specie         Current
       
            SF6                            SF5+         10's of nA on SIMS units
                                                                 microampere levels in mm spot
         
            Ar,  O2                      Ar+, O+      100's of  nA
         
         
BEAM STABILITY                        +/- 1% for 20 minutes
         
         
FILAMENT LIFETIME                150 to 250 hours
         
         
   
ELECTRICAL
         
       Power Supply / Cooling System 120 volts, 1 phase, 15 A, 50/60 Hz
         
   
WATER
         
         Cooling System                              1.5 gpm, @70 degrees F
         
     
SIZE
       
         Power Supply Console                       19" w x 20" d x 48" h

         Cooling System                                   20"w x 8"d x 48"h
                         
         
         
         
                 
         

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